清華大學成功研發用于光刻機的高端激光干涉測量儀

來源:科技日報    關鍵詞:激光干涉測量儀器, 光刻機,    發布時間:2019-06-05

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“針對光刻機等苛刻測量環境中實現多自由度干涉測量的需求,我們提出了基于棱鏡誤差矢量分析的單體集成多軸干涉儀組件設計方法,研發出從2軸到5軸的系列化單體式多軸干涉儀組件,打破了國外企業的壟斷和對我國的出口限制。”4日,清華大學長聘教授、精密儀器系學術委員會主任李巖告訴記者。


激光干涉測量是實現超精密測控和微納尺度測量的最有效手段之一。在國家重大科技專項“極大規模集成電路制造裝備及成套工藝”(02專項)等項目支持下,由李巖等完成的“高測速多軸高分辨率激光干涉測量技術與儀器”項目,突破一系列關鍵技術瓶頸,形成了測量新方法、系統及儀器。


李巖介紹,項目實現了從干涉儀組件、信號探測解調到多自由度探測方案設計的全鏈條自研開發的高測速、多軸大量程、高分辨率激光干涉測量系統。


截至目前,項目團隊所研發的光刻機用雙頻激光干涉儀系統,應用到我國自研光刻機工件臺樣機研發過程中,累計應用50余臺套,滿足了光刻機雙工件臺樣機的精密測量需求,減輕了對國外高端干涉儀的依賴,降低了其產品對我國出口限制所造成的研發風險。


李巖說,比如項目開發的亞納米分辨率可溯源外差干涉儀,應用到激光多維測量系統研究與開發的比對檢定研究中,找出了激光多維測量系統非線性誤差原因,并用專門的電路加以校正,提高了相關單位激光多維測量系統的性能,所提出的可溯源干涉測量新方法,為摩爾單位采用阿伏伽德羅常數重新定義作出了貢獻。


“項目的成功,打破了外國對我國高端激光干涉測量儀器的限制和壟斷,為我國高端裝備和儀器研發提供性能穩定且不受制于外國的測量及溯源能力,豐富了激光干涉測量理論與技術,具有非常重要的技術、經濟和社會效益。”李巖說。

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